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PRODUCT
产品信息
成膜 装置、装配制造商
  • 研究开发
  • 品质管理
  • 各类生产线
微小区域测量

OPTM系列(显微分光膜厚计)

300mm wafer厚度mapping 测试系统
线扫描膜厚测量(offline桌上型）

LS系列(线扫描膜厚计)
便携式

SM系列(智能膜厚计)
光纤类型

MCPD系列(多通道分光器)
各成膜装置，设备商集成在线膜厚测试

波长范围230nm~800nm

膜厚测定范围1nm~35um

波长范围360nm~1100nm

膜厚测定范围7nm~49um

波长范围900nm~1600nm

膜厚测定范围1nm~35um

临时键合，背面减薄，蚀刻，CMP工艺 在线检测
Load port对应膜厚测试系统

GS-300(成膜.加工装置加载响应)
薄膜等在线面扫测厚仪(inline 型号)

LS系列(线扫描膜厚计)
真空腔室内膜厚检测
CMP（化学机械抛光）成膜工艺蚀刻工艺等
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