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如何正确操作膜厚仪?如何测量产品?


通过薄膜上下层的反射谱,测量薄膜的厚度和光学常数.可用于光刻胶膜层、氧化物或氮化物膜层、硅和其它半导体膜层等的厚度和光学常数的测量,那么如何正确操作膜厚仪?如何测量产品?

一、如何正确操作膜厚仪?

膜厚仪又名膜厚测试仪,分为手持式和台式二种,手持式又有磁感应镀层测厚仪,电涡流镀层测厚仪,荧光X射线仪镀层测厚仪.手持式的磁感应原理是,利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小,来测定覆层厚度.也可以测定与之对应的磁阻的大小,来表示其覆层厚度.那么,如何正确操作使用膜厚仪?珠海天创仪器公司为大家详细介绍:

测定准备

(1)确保电池正负极方向正确无误后设定.

(2)探头的选择和设定:在探头上有电磁式和涡电流式2种类型.对准测定对象,在本体上进行设定.

测定方法

(1)探头的选择和安装方法:确认电源处于OFF状态,与测定对象的质地材质接触,安装LEP-J或LHP-J.

(2)调整:确认测定对象已经被调整.未调整时要进行调整.

(3)测定:在探头的末端加一定的负荷,即使用[一点接触定压式].抓住与

测定部接近的部分,迅速在与测定面成垂直的角度按下.下述的测定,每次都

要从探头的前端测定面开始离开10mm以上.使用管状的东西连续测定平面时,如果采用探头适配器,可以更加稳定地进行测定.

二、如何测量产品?

1 .根据待测样品的镀层情况,选择相应的产品程式.

2. 将样品置于工作台上,调整其位置并聚焦清晰,使其清楚显示在视频窗口十字线中央.

3. 按显示屏左下角的按钮"测量(s)"或仪器控制台上的"START"键开始测量,倒计时结束后即完成一次测量.

4. 一般来说,单镀层不少于15秒,双镀层和合金比例测量时间不少于30秒,三镀层测量时间不少于45秒,镀液主盐离子浓度测量时间在30~60秒之间.

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