嵌入式膜厚检测仪 FE-3


可高精度测量具有波长依存性的多层膜!








产品信息

特 点

•采用分光干涉法

•搭载高精度FFT膜厚解析系统(专利 第4834847号)

•使用光学光纤,可灵活构筑测量系统

•可嵌入至各种制造设备。

•实时测量膜厚

•可对应远程操作、多点测量

•采用寿命长、安全性高的白色LED光源

测量项目

·多层膜厚解析

用 途

•光学薄膜(超硬涂层、AR薄膜、ITO等)

•FPD相关(光刻胶、SOI、SiO2等)

设备构成

单点型

•半导体晶圆的面内分布测量

•玻璃基板的面内分布测量

多点型

•实时测量

•流向品质管理

•真空室适用

导线型

•实时测量

•宽度方向品质管理

测量案例

超硬涂层的膜厚解析