信息摘要：

本次学习会介绍我司膜厚设备在半导体各工序的测量方案。 从成膜工艺~晶圆研磨过程监控，大气、真空等复杂环境条件下的嵌入式在线厚度测量。对CMP、BG研磨过程监控、OLED成膜工艺在线测量感兴趣的各界人士，请一定收看！