

产品说明
MINUK的研发思路

以往显微镜的课题
视野狭窄,异物等目标的定位耗时较长
无法判断需要观察部位的深度,必须连续拍摄多张图像才能完成定位
无法检测到肉眼不可见的纳米级细微变化
而MINUK!

仅需放置,即可实现非破坏、非接触式 3D 观测技术
无需物理调焦
随时对需要观察部位进行观测·测量!
对象物在激光照射下,由于厚度和折射率的变化波面会发生变化。
将此变化以波面传感器捕捉,使用独有的软件进行数值解析,重新生成图像。

特点
特点1
凭借宽视野( 700μm)与高分辨率 (488nm) ,在测量对象中搜寻异物中无需耗费精力。
以往,由于视野范围狭窄,在查找异物等目标位置时,不得不反复扫描被测对象的全域。
MINUK 无需通过成像光学系统,可直接记录样品光,从根本上解决了透镜的像差问题,实现大深度、宽视野、无像差的成像效果。

特点2
可捕捉深度 1400μm 的全域信息,支持任意高度切片观测1次测量即可获取相当于数千张图像的信息量
以往,无论需要观测的位置在哪里,都需要持续拍摄数千张图像才能定位目标区域。而 MINUK 可瞬时完成 700×700μm 平面范围、1400μm 深度方向的信息采集。设备以约 2μm 的轴向分辨率生成约 700 张切片图像,通过对这些数据进行数字重聚焦处理,即可对样品三维结构开展追加验证分析。

特点3
将透过率和折射率的三维分布可视化,将肉眼无法看到的纳米级表面形状数值化
以往传统设备难以完成对焦操作,无法实现数据量化分析。而MINUK可对人眼不可见的纳米级表面形貌进行定量测量,还能检测微小的折射率变化。

规格
| 分辨率 x , y | 6 9 1n m( 一次拍照)、4 8 8 n m( 合成) |
| 视野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
| 分辨率 z | 10nm(相位差) |
| 视野 z | ±700μm |
| 样品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm(安装通用样品架时) |
| 样品台 | 微动X Y样品台(自动) X:±10 mm Y:±10 mm 粗动样品台 X:12 9 mm Y:8 5 mm |
| 激光 | 波长 6 3 8 nm 输出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 对测量样品的照射强度) |
| 尺寸(长×宽×高)mm | 本体:5 0 5(W)×6 3 0(D)×4 3 9(H) ± 2 0 m m ※不含P C、附属品 |
| 重量 | 41k g |
| 功耗 | 本体:2 9 0 VA ※不含P C、附属品 |
测量案例
