产品信息

特　点

● 采用分光干涉法

● 搭载高精度FFT膜厚解析系统（专利 第4834847号）

● 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统

● 可嵌入至各种制造设备。

● 实时测量膜厚

● 可对应远程操作、多点测量

● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源

测量项目

多层膜厚解析

用　途

光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）

FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）

设备构成

单点型

半导体晶圆的面内分布测量

玻璃基板的面内分布测量

多点型

实时测量

流向品质管理

真空室适用

导线型

实时测量

宽度方向品质管理

测量案例

超硬涂层的膜厚解析